连续流探针台半导体芯片测试设备

　　连续流探针台半导体芯片测试设备探针台采用模块化设计，满足广泛的实验需求，LH-CPX低温探针台是德世提供的一款通用高性能设备，出厂时可根据客户需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各种选件根据研究人员需要选择，能满足绝大多数实验需求。LH-CPX有多层防辐射罩(液氦和液氮防辐射罩不同)有利于减少热辐射，确保样品温度低于5K (液氦)。安装多个温度传感器，保证温度测量准确性以及重复性。样品处于真空环境中，确保一些亲水性材料表面不冷凝，选件可实现样品从制备到测量可处于真空环境中。LH-CPX 可以使用液氮和液氦两种低温液体，根据客户需求出厂时配置好。

　　探针台原理及应用

　　德世的低温探针台为材料早期无损电性能测量提供了一个精准的低温磁场环境。探针 台是物理科学家和研究人员对材料研究的有利便捷工具、并且测试测量重复性一致性比较好。 探针台也可以作为一个灵活多用的公共测试平台。典型的应用包括不同温度下普遍的IV 和CV曲线、微波测量、光电响应、电输运特性、霍尔效应测试以及其他类型的材料研究。

　　德世低温探针台提供了众多的测试环境，可根据研究人员的需要自行选择对应型号， 以满足研究人员多样化的应用需求。从通用平台到专业平台，每个德世探针台都经过精心设计，以确保在整个温区范围内稳定运行和可靠的测量。

　　特点

　　低温液体冷却样品台以及辐射屏，充分利用低温液体，减少使用成本

　　可以使用液氮或者液氦制冷

　　辐射屏有可视窗，样品可视化操作

　　多种附件可供选择

　　德世销售最多的低温探针台

　　可定制最大4in的样品台(标配2in)

连续流探针台半导体芯片测试设备

液氮配置

1.液氮冷却样品台，蒸发后的低温氮气冷却防辐射屏和二级防辐射屏

2. 防辐射屏带红外吸收窗口

3. 使用液氮作为冷源

时间参数：

◆抽空时间：0.5h (与泵组相关)

◆降温时间：液氦从室温到蕞低温1.25h, 液氮从室温到蕞低温0.5h

◆升温时间：液氦从蕞低温到室温1.25h, 液氮从蕞低温到室温0.5h

样品台：

◆标准样品台：51mm(2in)

◆蕞大样品台：102mm(4in)   选配

◆样品台背光：无

◆样品台类型：三同轴样品台(标配)、接地样品台(选配)、0.15T 垂直磁场样品台(选配)

◆样品台旋转：±5° (选件)

探针：

◆探针数量：蕞多6个

◆探针传感器：硅二极管(液氦), PT100  (液氮),监视探针温度

◆探针托温度：<20K ( 液 氦 ) , <100K (液氮)

◆探针热沉：热沉到探针台或者相同温度的防辐射屏

◆探针臂：热沉到防辐射屏

◆DC/RF探针：绝缘电阻>100GΩ,漏电流<100Fa

◆微波探针：DC到67GHz，用于微波测量

◆光纤探针：用于光电测量

探针位移 :

◆X方向行程:50mm，移动分辨率3 μm

◆Y方向行程:25mm，移动分辨率5 μm

◆Z方向行程:25mm，移动分辨率5μm

显微镜配置

3400万像素CCD相机

支持HDMI1080P 60/图像输出

4条水平线4条垂直线，带测量软件

景深同轴光镜头，带LED同轴光源

标准HDMI接口

电子缩放1x-10x

光学倍数0.7-5X

电子倍数20-200x

成像距离140-180mm

景深高度：10mm

观看面积1mm-18mm

工作距离:37.5mm-160mm

数值孔径NA:0.018-0.092

分辨率:18.6μm-3.65μm

视场:0.99mm-34.28mm★★

物镜可选

显示器尺寸:21.5英寸

制冷剂消耗：

◆室温到蕞低温度：10到15L ( 液 氦 ) , 4 到 5L (液氮)

◆液氦消耗(5K):1L/h

◆液氮消耗(80K):0.5L/h

探针台配置